що W / S означає металеві моделі опору?

[flushrat]

у 80-нм hspice бібліотеки
Є три металу 1 опору моделі: rm1l rm1s rm1w
rm1l: метал з 1 W / S = 0.108/0.324
rm1s: метал з 1 W / S = 0.108/0.108
rm1w: метал один з W / S = 0.324/0.162

Що ж W / S означає?

 

[Guest]

Як правило, коли мова йде про метал, W / S кошти Ширина / Космос.Тобто, різні смоли металу можна використовувати в макеті.

Заплутаною тут є те, що простір не повинно впливати на опір, тому він не буде включено до опір моделі.Тим не менш, це буде значно вплив ємності й, отже, будуть включені в будь-якої моделі, яка має ємність.

Якщо ви розмістите моделі, ми можемо сказати вам точно.

 

[jcpu]

Цитата:

Заплутаною тут є те, що простір не повинно впливати на опір

 

[flushrat]

тут є частиною моделі, з тією лише різницею між опором моделі металу листа опору.
. LIB TT_RES
. Param
......
r_rm1l = 0,0791 = 0,115 r_rm1s r_rm1w = 0,109
.......
. ЕпсІ TT_RES
*********************************** Металу з 1 W / S = 0.108/0.324 ***** ******************************
. Subckt rm1l n1 n2 L = довжина = ширина W = масштабі 1 т = 1
. Параметр RSH = r_rm1l
. Параметр DW = 0
. Параметр pvc1 = 0 = 0 pvc2 ptc1 = 2.846E-03 ptc2 =- 5.351e-07
. Параметром р = 'характер'
. Параметр tfac = '1 0,0 ptc1 * (р-25, 0) ptc2 * (р-25, 0) * (р-25, 0) '
R1 n1 n2 'RSH / м * * масштабу л / (W * масштаб-DW) * (1 pvc1 * (ABS (V (N2, N1)) / л / масштаб) pvc2 * (V (N2, n1) / л / масштаб) * (V (N2, n1) / л / масштаб)) * tfac '
. Кінцях rm1l

*********************************** Металу з 1 W / S = 0.108/0.108 ***** ******************************
. Subckt rm1s n1 n2 L = довжина = ширина W = масштабі 1 т = 1
. Параметр RSH = r_rm1s
. Параметр DW = 0
. Параметр pvc1 = 0 = 0 pvc2 ptc1 = 2.846E-03 ptc2 =- 5.351e-07
. Параметром р = 'характер'
. Параметр tfac = '1 0,0 ptc1 * (р-25, 0) ptc2 * (р-25, 0) * (р-25, 0) '
R1 n1 n2 'RSH / м * * масштабу л / (W * масштаб-DW) * (1 pvc1 * (ABS (V (N2, N1)) / л / масштаб) pvc2 * (V (N2, n1) / л / масштаб) * (V (N2, n1) / л / масштаб)) * tfac '
. Кінцях rm1s

*********************************** Металу з 1 W / S = 0.324/0.162 ***** ******************************
. Subckt rm1w n1 n2 L = W = довжина ширина масштабу = 1 м = 1
. Параметр RSH = r_rm1w
. Параметр DW = 0
. Параметр pvc1 = 0 = 0 pvc2 ptc1 = 2.846E-03 ptc2 =- 5.351e-07
. Параметром р = 'характер'
. Параметр tfac = '1 0,0 ptc1 * (р-25, 0) ptc2 * (р-25, 0) * (р-25, 0) '
R1 n1 n2 'RSH / м * * масштабу л / (W * масштаб-DW) * (1 pvc1 * (ABS (V (N2, N1)) / л / масштаб) pvc2 * (V (N2, n1) / л / масштаб) * (V (N2, n1) / л / масштаб)) * tfac '
. Кінцях rm1w

 

[Guest]

Насправді, jcpu є правильним, microloading ефектів травлення металевої плазми вплине на фактичну ширину в порівнянні з намальованою ширину.Тим не менш, дві речі: по-перше, ми розміщуємо макет металу, щоб заповнити щільності максимально рівномірний.По-друге, я ніколи не бачив 40%-ве збільшення RSH-за цього ефекту.Вона повинна бути значно менше, особливо між 0,162 простору і 0,324 простору, бо це мало бути легко в рамках процесу спектра на 80-нм.

Я не можу вийти з остаточною відповіддю.Хто-небудь?