Metal щільність на рівні кристала.

M

manruru

Guest
Привіт ....У мене ще одне питання тут ....
Чому ми виправити desity на повний рівень чіпів максимальна і мінімальна вартість.
Що відбудеться, якщо у мене є щільність металу (%) більше, ніж максимальна (%).

 
Здравствуйте,
It Wont чітко ДРК .... а також привести до поломки пристрою з-за високої щільності метал ...
Paramjyothi

 
щільність металу (%) не може бути більше максимального значення

 
вважаємо, що ви отримали відмову по щільності або у вас ігнорують її або ур ДРК не перевірити щільність ур ... U сенсу мати окрему перевірку щільності ....
Що відбудеться, якщо ви не відповідають необхідним denisty.that означає, що ви щільність менше, ніж потрібно.Що відбудеться, якщо у вас є щільність більше, ніж максимальний ...Занадто багато правильне питання

<img src="http://www.edaboard.com/images/smiles/icon_cry.gif" alt="Плачу або дуже засмучений" border="0" />

необхідності вирішення ......

 
Та у вас є окремі параметри перевірки щільності або перейти в ДРК, який перевіряє щільність Diff, статі і всіх видів металів.Існує хв &% макс щільності для всіх них і щільність розраховується на основі сегментів області на основі дизайн & технологій.

Приклад: У TSMC 130nm металів щільність в розрахунку на одиницю 200x200um області, скажімо, ваш дизайн 90x100um, то він розраховує на 200x200 і видає помилок для Вашого дизайну.Ця помилка може бути очищена Метал заповнення.

Для максимального значення щільності%, як правило, дуже високий і завжди зустрічав.

Щільність повинна бути задоволені, оскільки це пов'язано з проблемами надійності, продуктивності та прибутковості на чіп.Таким належного функціонування пристрою це має бути виконане.

 
Я думаю, що перевищує щільність Макс метал призведе до виходу проблема.Можливо, деякі метали, не будуть видалені достатньо.

 
manruru пише:

Привіт ....
У мене ще одне питання тут ....

Чому ми виправити desity на повний рівень чіпів максимальна і мінімальна вартість.

Що відбудеться, якщо у мене є щільність металу (%) більше, ніж максимальна (%).
 
Дякую всім вам за надану мені відповідей ......

 
Мінімальна щільність металу повинні бути дотримані, щоб уникнути плазмового травлення насичення.Коли побудували шару металу, вони зазвичай використовують цей метод для видалення перевищує металу.
Однак, може бути максимальна щільність металевого теж.Метал регіонів з урахуванням теплового розширення.Таким чином, якщо у вас є висока щільність металу, розширення може призвести до поломки ізолятора викликають шортах або чіп невдач.
Тому багато заводів роблять максимальну щільність металу ДРК перевірити теж.

 
Привіт,

Ні, це брехня, що мають щільність вище максимальної не годиться, це навіть гірше, ніж вона менше, ніж хв.

Вам дійсно потрібно палицею в хв / макс кордонів.
Якщо у вас занадто багато металу, ніж діелектрична між металевими композицій, швидше за все, отримаєте пропустили під час травлення етапі.Це призведе до краху металевих проводів один на одного, в результаті чого дуже неприємний шорти.

Якщо ваш чіп призначений для декількох зразків, ніж ваші інженери процес можна зробити деякі додаткові зусилля, з турботи про те, що відбувається.Це не було б можливості для масового виробництва чіпів.Всі правила мають щільність буде виправлена.

З точки зору здійснення CAD, це дійсно залежить від цього процесу і постачальник ГДК.Перевірка може бути частиною первісної перевірки ДРК або при перемиканні додаткові кнопки / файлу.Щільність перевірки віконні також.Розмір вікна може варіюватися від процесу до іншої.

У більш розвинених вузли 65-нм технологія, як і за його межами, щільність перевірки стають навіть жорстко ...Існують правила, щоб зробити перевірку градієнт між сусідніми вікнами, інші правила, щоб перевірити щільність на різних рівнях метал ...цілком реально кошмар ...Але це дуже важливо для DFM і прибутковості.Прибутковість гроші

<img src="http://www.edaboard.com/images/smiles/icon_wink.gif" alt="Wink" border="0" />Ура,
Ріад.

 
Це основна причина манекена заповнення металом:

Хімічна механічного полірування (CMP) був використаний у останні роки planarize прошарок діелектриків.СС процеси чутливі до компонування моделей і це може призвести до певних регіонах на чіпі мати товсті шари діелектриків, ніж в інших районах з-за відмінностей в основний топографії.За таких обставин, металеві заповнити був визнаний одним з найбільш комерційно життєздатних варіантів скорочення макета залежать діелектричні зміною товщини.Метал-заповнити структурування процесу заповнення великих відкритих майданчиків на кожному шарі металу з металевим шаблон, який або є обгрунтованим або вліво плаваючий, для компенсації моделі механічних змін.Метал заповнити безумовно, додає паразитичні ємності.Важливо, щоб дизайнери з реалістичною оцінкою паразитичні ємності викликано заповнити металеві вставки.

 
Що відбудеться, якщо у мене є щільність металу (%) більше, ніж максимальна (%).

-> Це може призвести до компонентів бути замкнутий, якщо він належним чином не труїть ...також може привести до загального опору пристрою для зменшення ...і загальна ємність для зменшення ...

 
МИ МОЖЕМО ВІДМОВЛЯЄТЬСЯ OFF максимальна і мінімальна щільність металу Помилки при роботі ДРК?

 
Але краще не робити цього.Перевищення Макс щільність приведе до того металу, не може бути Etch Off, як очікувалося.Менш мін щільність приведе до надмірного травлення.

 
Мінімальна щільність металу правило: різниця у висоті оксид
для даного регіону на дизайн називається площинних і є важливим фактором, що впливає на
пластина прибутковості.Коли дизайн регіонах з низькою щільністю металу, оксидного шару може SAG
значно.Полірування дійсно допомагає поліпшити площинність, але якщо щільність металу особливо
низькі, суми оксидів провисання може бути занадто велика, щоб подолати.Метал заповнення потрібно
підтримання рівномірної щільності метал через чіпа на кожному шарі, і тим самим забезпечити
планарними ході хіміко-механічного полірування процесу.Так що мінімальні правила щільність металу.

Макс метал щільність теплового розширення металу межі Макс щільність металу.

 
You must log in or register to reply here.

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top