легованого шару кремнію

[hrkhari]

Привіт хлопці:

Я натрапив на цю заяву в той час переживала Journal:

Перевага використання легованого шару кремнію для щитом проти одного з тісних металевих шарів є те, що ємність менше і хвильовий опір вище.

Що це означає легованого шару кремнію в цьому контексті?.Може хто-небудь пояснити з допомогою прикладу цього шару?.Спасибо заранее

Rgds

 

[SkyHigh]

Легованого шару кремнію є основною шар кремнію, легованого домішок, таких як фосфор або бору методом іонної імплантації або дифузії для поліпшення електричних властивостей, таких як провідності та діелектричної проникності.

У вашому випадку, який порівнює металу з легованого кремнію, легованого кремнію це, ймовірно, легованого полікремнія або легованих полі-Si, що використовуються у воротах Interconnect, яка зазвичай легованих домішками для поліпшення провідності і зменшення проникності для досягнення низьких-K, таким чином, низька ємність.

Хвильовий опір бути вище?Ви впевнені?Я серйозно так не думаю.Хвильовий опір не є фізичною величиною за допомогою кількісних показників по довжині або матеріальних змінних.

Однак з введенням Полі-легованого кремнію, а не з металу, поверхневий опір знижується за рахунок поліпшення провідності, лист ємність зменшується за рахунок зниження проникності, тому опором на одиницю довжини Interconnect зводиться, таким чином, розсіюється менше енергії.

 

[Guest]

Це може також означати, що основна кремній знаходиться далі, ніж інший шар металу.Це призведе до скорочення ємності на щиті шаром.