N
neoflash
Guest
Починаючи з 55-нм технології, TSMC починає надавати MOM конденсатора в загальній технології CMOS, такі як 40LP. Моє питання в тому, що TSMC чи зробити який-небудь спеціальної обробки на ті області MOM, для поліпшення ширина металу / простір точність? (Яка в кінцевому підсумку поліпшити точність конденсатор) або мама кришка тільки регулярні кришку пальцем металу, спеціального шаблону макета. Як правило, найтоншого металу відстань викличе метал-метал пальцем конденсатора зміни досягати біля + / - 20% або навіть гірше. Я чув, з вулиці, що мама конденсатора точність може бути в межах + / - 10%. Мені цікаво, якщо це реально. Спасибі, Нео